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SEM常用的背散射电子检测器种类和比较

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发表于 2014-6-30 13:45:36 |显示全部楼层
      背散射检测器分两种,一种是固体检测器,SOLIDSTATE,利用固体硅片作SENSOR,加上前置放大器构成,一种是闪烁体加光导管加光电倍增管构成。

       另外检测器的安装位置也有不同,有OFFLENS和INLENS之分。
还有固定式和移动式之分。
      我见过最好的就是英国KEDEVELOP公司生产的CETAURUS背散射检测器,尖端可以更换,可以变成阴极荧光探测器使用,很节省哟。

优缺点:
1,固体式的可以在检测成分的同时检测形貌,闪烁体式的也可以检测形貌,但不能同时完成。
2,OFFLENS式的操作难度较低,INLENS式的操作难度高,但成像解析度高很多,一般配合场发射电镜使用。
3,固定式的不用调节,但容易被划伤,移动式的需要调节正确位置,但被损危险性很小。

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